SUSS-MicroTec推出面向LED市场的专用光刻系统

　　用于生产高亮度LED 的全自动光刻机MA100e Gen 2问世 2010年6月8号慕尼黑电,SUSS MicroTec,全球知名的半导体行业及相关设备和工艺解决方案供应商,推出新一代MA100e光刻机,专用于高亮度发光二极管 (HB-LED s)生产。MA100e基于SUSS MicroTec光刻机经典设计,具有最大至4英寸的载片能力,每小时产量可达145片,业界领先。 电视机、显示器等对LED背光的需求急剧增长,LED设备生产商必须尽力满足这一市场增长需要。LED行业对成本很敏感,所以SUSS MicroTec设计的MA100e Gen2自动光刻机在成本控制方面极具竞争力。设备配置的高照度光路和预对准系统大大缩短作业时间,功能上接近式光刻分辨率可达2.5um,极大提高了产率和成本效率。MA100e Gen2提供卓越的工艺延展性,使用户能将新的芯片设计快速投入市场。 SUSS MicroTec总裁兼首席执行官Frank Averdung先生指出：“我们清楚地认识到尖端高亮度发光二极管技术日益增长的需求,并且看到LED业界为降低成本而开始向高度自动化方向发展。SUSS MicroTec开发的新一代的MA100e正是专为LED生产设计的高效率全自动光刻机,可以帮助我们的用户降低每流明成本,提高生产效率。”