Aviza 向LED前五制造商提供PECVD设备

美国工艺设备供应商Aviza表示，它的等离子增强的CVD系统取代了另一家竞争者成为前五名高亮度LED制造商的供应商。Aviza产品事业部的高级副总Kevin Crofton表示，下订单的是位列全球前五的高亮度LED制造商。半导体设备供应商Aviza技术公司重拾化合物业务，凭着大量的刻蚀和CVD设备订单赢得重大的胜利。Aviza的DELta i2L等离子增强型CVD（PECVD）和Omega i2L刻蚀系统产量高，正常运行时间长，可靠性好，工艺稳定性更强；目前正在客户的批量级厂房中，准备用于生产GaAs基和InGaN基LED。

Crofton说，这家LED制造商既是现有设备也是Aviza旧型CVD设备的客户，不过最近一笔订单尤为重要，原因是Omega刻蚀设备现在被认为是“创纪录得工艺设备（PTOR）”。在沉积设备方面，Aviza是这家LED制造商针对PE-CVD应用的新型供应商。

这个订单揭示了最近Aviza的策略上的变化，在DRAM这个残酷的竞争产业里，他们越来越注重比如III-V族、功率半导体、LED和MEMS等需要进行薄膜生长的市场，并已初期奏效。Crofton补充道，“仅仅在过去几年内，我们的产品组合已明显偏向这些生长市场”，据市调公司Strategies Unlimited表明，未来几年HB-LED的年增长率将达到20%。“只要这些市场仍在增长，我们将凭着获得认可的产品迎头赶上它们”。

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