德厂DAS完成LED制程废气处理技术开发

AZZURRO Semiconductors将正式投产8吋矽基氮化镓(GaN-on-Si)LED。继2011年量产6吋晶圆后，AZZURRO Semiconductors日前再度公开宣示，将于2013年第二季导入8吋矽基氮化镓LED晶圆生产，以迎合未来客户需求。

AZZURRO Semiconductors业务与市场行销副总裁Erwin Ysewijn表示，由于动态随机存取记忆体(DRAM)需求下滑，不少8吋DRAM厂房闲置，是矽基氮化镓LED晶粒制造商可善加利用的现成生产设备，因此AZZURRO Semiconductors正快马加鞭展开8吋矽基氮化镓LED晶圆量产，并已成功运用专利的应力控制技术，突破曲度和薄膜厚度不均的技术桎梏，助力提升8吋矽基氮化镓LED晶圆生产良率。 

Ysewijn指出，现阶段AZZURRO Semiconductors的6吋矽基氮化镓LED晶圆已大量出货，至于8吋晶圆年底前将会送样给特定客户进行产品验证，待验证通过即可进入量产期。 

据了解，由于4吋以下的矽基氮化镓LED较不易突显优于传统蓝宝石基板LED的价格竞争力，促使矽基氮化镓LED晶圆厂纷纷朝向更大直径的晶圆布局。 

Ysewijn强调，在蓝宝石基板LED单价跌跌不休之下，4吋以下的矽基氮化镓LED与蓝宝石基板LED价差并不显著，不过6吋矽基氮化镓LED晶圆面积为2吋的九倍之多，因此未来生产速度与成本将略胜蓝宝石基板LED一筹。 

至于是否朝向12吋矽基氮化镓LED发展，Ysewijn认为，目前12吋晶圆制程产能吃紧，已无多余的产线供矽基氮化镓LED制造商量产使用；再者，重新投资12吋晶圆厂的成本过高，因此短期之内，AZZURRO Semiconductors不会有量产12吋矽基氮化镓LED的规画。